CIF勻膠機

簡要描述：CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產(chǎn)品型號：SC1
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2024-10-25
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CIF材料表面處理儀器

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價格區(qū)間	5萬-10萬	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工

CIF勻膠機

CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

勻膠機產(chǎn)品特點

u 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，多100個階段。

u 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

u 多重安全保護

電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實驗人員安全。

u 一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

u 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯（NPP-H）旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

u 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

勻膠機技術(shù)參數(shù)

型號	轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分）	轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度	勻膠時間	旋涂基片尺寸mm	外型尺寸（LxWxH）mm
SC1	50-10000	±1％	0-2000S	圓片Φ5-Φ100,方片大100x100	310x260x250

勻膠機使用注意事項：

（1）在旋轉(zhuǎn)涂膠中，轉(zhuǎn)速是最重要的因素之一，通常決定了最終的膠膜厚度。較小的速度變化就能導(dǎo)致膠膜厚度較大的變化。旋轉(zhuǎn)速度過高或過低都會使基片涂膠失敗。因此提供勻膠轉(zhuǎn)速用的電機控制精度要求非常高。

（2）加速度對涂膠的均勻性有著重要的影響。在涂膠環(huán)節(jié)的一部分，膠液開始變干，準(zhǔn)確地控制加速度十分重要，膠液中50%的溶劑在加速過程中汽化蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)過程提供了一個離心力（向外）給膠液，加速度提供給膠液扭曲力，此力使膠液均勻通過和覆蓋基本表面。最終形成的膠膜均勻性與適當(dāng)?shù)募铀俣让芮邢嚓P(guān)。

（3）涂膠工藝受到腔體環(huán)境（排風(fēng)、氣流等）的影響。在涂膠過程中膠液的揮發(fā)烘干速度取決于液體本身的自然屬性，也受到涂膠過程中晶圓片周圍空氣情況的影響。涂膠過程中特別重要的一點是涂膠腔體內(nèi)氣體的流動和與之相關(guān)的亂流要減到最小。通過腔體的排風(fēng)系統(tǒng)可以減少不希望的亂流，這樣可以使液體凝固速度減緩，同時使對外界溫濕度的敏感性減少。

（4）膠液的準(zhǔn)確供應(yīng)對提高成品率及降低成本有很重要的意義。膠液不足造成無法覆蓋全片，太多則對膠膜質(zhì)量有影響且造成浪費。

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